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SOD材料


FOx® Flowable Oxideの製品名で半導体業界で多く使われている高品質・高性能の Spin-on絶縁材料(SOD)です。シリコンベースの製品、サービス、テクノロジーおよびアプリケーション技術からお選びください。  

詳しいSOD材料のお問い合わせは、こちら まで。

Inter-metal Dielectrics
製品タイプ:  無機ポリマー
硬化前性状:  ハイドロジェンシルセスキオキサン溶液キュア後:不定形シリカ皮膜
特性:  優れた平坦性、優れたギャップフィル性、低誘電率、溶媒選択可能
主な用途:  集積回路多層配線における層間絶縁材料
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