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FOx® Flowable Oxideの製品名で半導体業界で多く使われている高品質・高性能の
Spin-on絶縁材料(SOD)です。シリコンベースの製品、サービス、テクノロジーおよびアプリケーション技術からお選びください。
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| 製品タイプ:
無機ポリマー
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| 硬化前性状:
ハイドロジェンシルセスキオキサン溶液キュア後:不定形シリカ皮膜
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| 特性:
優れた平坦性、優れたギャップフィル性、低誘電率、溶媒選択可能
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| 主な用途:
集積回路多層配線における層間絶縁材料
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| Technical Data |
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Tutorial
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